毫秒量级快速动态真空校准稀薄气体非定常流动研究

doi:10.13922/j.cnki.cjovst.2019.08.07

CORC > 兰州理工大学 > 兰州理工大学 > 石油化工学院

	毫秒量级快速动态真空校准稀薄气体非定常流动研究
	陈叔平 1; 汪乘红 1; 成永军 2; 习振华 2; 孙雯君 2; 刘丹 1
刊名	真空科学与技术学报
	2019-08-15
卷号	39 期号:2019年08期页码:659-666
关键词	非定常流动动态真空校准快速膨胀稀薄气体阻塞流
ISSN号	ISSN：1672-7126
DOI	10.13922/j.cnki.cjovst.2019.08.07
英文摘要	对毫秒量级快速动态真空标准压力建立过程进行分析,获得了经实际气体特性和温度变化修正的动态真空标准压力理论模型,分析表明:上游室压力呈指数规律衰减,快速开合超高真空插板阀打开时间和限流小孔流导值是决定标准压力建立时间的关键因素。此外,在阻塞流态下,对气体膨胀过程进行数值模拟,并做了实验验证。结果表明:上游室压力均匀变化,意味着被校真空计安装位置不会影响校准结果;上游室温度下降呈现出较大梯度,实验测量时应将热电偶尽量布置在上游室中心位置;理论和模拟压力与实测压力最大不确定度分别为10%和4.65%,表明该校准系统能够在毫秒量级的时间内产生可以预测的压力变化;实际气体特性修正因子值为1,可忽略其对标准压力建立的影响;限流小孔流导最大和最小值相差0.8,证明了推导标准压力模型时假设小孔流导为定值的合理性。
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WOS研究方向	Engineering
语种	中文
CSCD记录号	CSCD:6559900
状态	已发表
内容类型	期刊论文
源URL	[http://119.78.100.223/handle/2XXMBERH/137]
专题	石油化工学院附属中学
作者单位	1.兰州理工大学石油化工学院, 兰州, 甘肃 730050, 中国 2.兰州空间技术物理研究所, 真空技术与物理国家级重点实验室, 兰州, 甘肃 730000, 中国
推荐引用方式 GB/T 7714	陈叔平,汪乘红,成永军,等. 毫秒量级快速动态真空校准稀薄气体非定常流动研究[J]. 真空科学与技术学报,2019,39(2019年08期):659-666.
APA	陈叔平,汪乘红,成永军,习振华,孙雯君,&刘丹.(2019).毫秒量级快速动态真空校准稀薄气体非定常流动研究.真空科学与技术学报,39(2019年08期),659-666.
MLA	陈叔平,et al."毫秒量级快速动态真空校准稀薄气体非定常流动研究".真空科学与技术学报 39.2019年08期(2019):659-666.