| 题名 | 激光精密刻划技术的研究 |
| 作者 | 尹强 |
| 学位类别 | 硕士 |
| 答辩日期 | 2001 |
| 授予单位 | 中国科学院光电技术研究所 |
| 授予地点 | 中国科学院光电技术研究所 |
| 导师 | 胡建华 |
| 关键词 | 固体激光器 效率 谐振腔 阈值 |
| 中文摘要 | 本论文首先介绍了激光加工对激光光束的光学性能的要求，在分析激光与材料的作用的基本物理过程的基础上，阐明了激光刻划的基本原理。在深入分析激光器谐振腔理论和高斯光束的性能基础上，针对精密刻划对激光光束性能的要求，对于实际应用于精密刻划的YAG固体激光器，分析了影响其功率和发散角的各种因素，经过理论分析的实验，计算出激光器的输入阈值和斜效率，并根据输出最佳耦合条件，计算出最佳输出镜反射率，分析了谐振腔腔型、限模光阑对于激光输出发散角的影响。在理论分析和精确计算以及实验的基础上，研制出适合激光精密刻划的激光器，并根据对刻划的速度要求，研制出能实现高速刻划的光学扫描系统。此外，本文针对激光刻划游标卡尺的具体情况，分析了激光器的功率、发散角、声光调制频率对刻划的线纹质量的影响，以及整个机床数字控制系统的伺服增益参数、名义暂停时间和机床进给速度对于刻划的线纹分度精度的影响，并在实验的基础上得出适合游标卡尺激光精密刻划的激光器参数和数控系统参数，对于游卡尺激光精密刻划机床的研制具有实际的意义。 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2013-11-19 |
| 页码 | 74 |
| 内容类型 | 学位论文 |
| 源URL | [http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/73]  |
| 专题 | 光电技术研究所_光电技术研究所博硕士论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 尹强. 激光精密刻划技术的研究[D]. 中国科学院光电技术研究所. 中国科学院光电技术研究所. 2001. |
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