掺杂对MoS_2基薄膜微观结构及力学性能的影响

	掺杂对MoS_2基薄膜微观结构及力学性能的影响
	于富成 ; 张晓琴 ; 柴利强 ; 许佼 ; 贺腾飞 ; 王鹏
刊名	兰州理工大学学报
	2017-10-15
期号	2017年05期页码:18-23
关键词	磁控溅射 MoS2复合薄膜微观结构摩擦磨损性能
ISSN号	ISSN：1673-5196
英文摘要	采用磁控溅射沉积技术制备Ti、Si、C和N掺杂的复合MoS2薄膜,通过X射线能谱仪、扫描电子显微镜Xray衍射、拉曼光谱研究了不同掺杂元素对MoS2基薄膜成分及微观组织结构的影响,利用纳米压痕仪、球盘式摩擦磨损实验机对比分析了掺杂金属元素及不同非金属元素对MoS2薄膜力学性能和摩擦磨损性能的影响。结果表明:MoS2薄膜中掺杂均可有效抑制MoS2柱状晶的形成,N原子的添加抑制了MoS2（002）晶面生长,薄膜向无定型结构转变;Ti原子的掺入使MoS2薄膜硬度增加,且呈现出良好的摩擦磨损性能;非金属元素Si的掺入有效地提高了MoS2薄膜硬度,但对薄膜的摩擦性能具有负面影响.
URL标识	查看原文
语种	中文
内容类型	期刊论文
源URL	[http://119.78.100.223/handle/2XXMBERH/3287]
专题	材料科学与工程学院理学院省部共建有色金属先进加工与再利用国家重点实验室
作者单位	1.兰州理工大学省部共建有色金属先进加工与再利用国家重点实验室 2.中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室
推荐引用方式 GB/T 7714	于富成,张晓琴,柴利强,等. 掺杂对MoS_2基薄膜微观结构及力学性能的影响[J]. 兰州理工大学学报,2017(2017年05期):18-23.
APA	于富成,张晓琴,柴利强,许佼,贺腾飞,&王鹏.(2017).掺杂对MoS_2基薄膜微观结构及力学性能的影响.兰州理工大学学报(2017年05期),18-23.
MLA	于富成,et al."掺杂对MoS_2基薄膜微观结构及力学性能的影响".兰州理工大学学报 .2017年05期(2017):18-23.