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	基于非对称金属包覆介质波导的多层亚波长结构刻写装置
	王向贤; 王茹; 陈宜臻; 张东阳; 庞志远; 杨华
	2018-12-21
著作权人	兰州理工大学
国家	中国
文献子类	授权发明
英文摘要	本发明公开了基于非对称金属包覆介质波导的多层亚波长结构刻写装置，该装置包括He‑Cd激光器，光电快门，扩束器，半波片，分束器，平面反射镜，棱镜，折射率匹配油，衬底和非对称金属包覆介质波导。He‑Cd激光器发射的325nm激光束，通过光电快门后，经扩束器扩束，经半波片改变偏振方向，得到TM或TE偏振光，再由分束器分成两束强度相等的相干光，两束光通过平面反射镜反射后，经棱镜耦合后辐照非对称金属包覆介质波导，激发波导中的高阶导模，高阶导模干涉场曝光正性光刻胶，经后续工艺处理，可制备出多层亚波长结构。本发明可有效调控制备的多层亚波长结构的层数和周期，成本低廉、操作简单、产出高，在微纳光学领域具有广泛应用。
公开日期	2018-12-21
申请日期	2016-12-12
内容类型	专利
源URL	[http://ir.lut.edu.cn/handle/2XXMBERH/108931]
专题	兰州理工大学
推荐引用方式 GB/T 7714	王向贤,王茹,陈宜臻,等. 基于非对称金属包覆介质波导的多层亚波长结构刻写装置. 2018-12-21.

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