不同溅射功率下PEN/Ti纳米复合薄膜的制备及性能研究

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	不同溅射功率下PEN/Ti纳米复合薄膜的制备及性能研究
	丁雨田 1; 陈建军 1; 高钰璧 1; 许佳玉 1; 柴利强 2
刊名	功能材料
	2018-10-30
卷号	49 期号:2018年10期页码:10020-10025
关键词	纳米复合薄膜溅射功率表面粗糙度沉积速率弹性模量
ISSN号	ISSN：1001-9731
英文摘要	采用直流磁控溅射法,在溅射气压为7.0×10-1 Pa和不同溅射功率（72～144W）下,制备出PEN/Ti纳米复合薄膜。研究了不同溅射功率对Ti膜微观组织、表面粗糙度、硬度及生长方式的影响规律。结果表明,直流磁控溅射法在PEN柔性衬底上沉积的钛膜是一种纳米多晶薄膜;随着溅射功率的增加,钛膜沉积速率及钛膜弹性模量皆升高,而钛膜表面粗糙度与钛膜晶粒尺寸均减小;溅射功率的增加将抑制钛膜柱状生长方式。在溅射气压为7.0×10-1 Pa,溅射功率为144 W时的工艺参数下,获得性能最佳的复合薄膜。
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WOS研究方向	Engineering
语种	中文
CSCD记录号	CSCD:6360938
状态	已发表
内容类型	期刊论文
源URL	[http://119.78.100.223/handle/2XXMBERH/1453]
专题	兰州理工大学省部共建有色金属先进加工与再利用国家重点实验室
作者单位	1.兰州理工大学, 甘肃省省部共建有色金属先进加工与再利用国家重点实验室, 兰州, 甘肃 730050, 中国 2.中国科学院兰州化学物理研究所, 固体润滑国家重点实验室, 兰州, 甘肃 730000, 中国
推荐引用方式 GB/T 7714	丁雨田,陈建军,高钰璧,等. 不同溅射功率下PEN/Ti纳米复合薄膜的制备及性能研究[J]. 功能材料,2018,49(2018年10期):10020-10025.
APA	丁雨田,陈建军,高钰璧,许佳玉,&柴利强.(2018).不同溅射功率下PEN/Ti纳米复合薄膜的制备及性能研究.功能材料,49(2018年10期),10020-10025.
MLA	丁雨田,et al."不同溅射功率下PEN/Ti纳米复合薄膜的制备及性能研究".功能材料 49.2018年10期(2018):10020-10025.