模压硫系玻璃元件红外增透膜的研制

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	模压硫系玻璃元件红外增透膜的研制
	付秀华 ; 王海峰 ; 张静 ; 张功 ; 任仲举 ; 周笑平 ; 杨飞
刊名	光学学报
	2021-10-25
卷号	41 期号:20 页码:238-247
英文摘要	为满足红外探测系统无热化、高质量成像的需求,在非球面硫系玻璃基底制备3.7～4.8μm波段增透膜。根据试验要求选取黏结层材料,提高基板与薄膜之间的附着力;利用有限元分析法通过多物理场仿真软件,将温度场与热应力场相结合建立三维模型,分析非球面薄膜的应力分布情况。根据模拟结果对沉积工艺进行优化,采用温度梯度烘烤法降低硫系玻璃基底的热应力,并采用真空原位退火法释放沉积薄膜的应力,解决非球面镜的脱膜问题。所制备的薄膜可以通过MIL-C-48497A标准中的附着力、湿度、中度摩擦等测试,并在3.7～4.8μm波段的平均透过率为99.12%,满足红外探测系统的指标要求。
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内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/65897]
专题	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
作者单位	1.中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 2.长春理工大学机电工程学院 3.长春理工大学光电工程学院
推荐引用方式 GB/T 7714	付秀华,王海峰,张静,等. 模压硫系玻璃元件红外增透膜的研制[J]. 光学学报,2021,41(20):238-247.
APA	付秀华.,王海峰.,张静.,张功.,任仲举.,...&杨飞.(2021).模压硫系玻璃元件红外增透膜的研制.光学学报,41(20),238-247.
MLA	付秀华,et al."模压硫系玻璃元件红外增透膜的研制".光学学报 41.20(2021):238-247.