大尺寸反射式光栅拼接技术的研究进展

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	大尺寸反射式光栅拼接技术的研究进展
	杨国军; 齐向东; 于海利; 李晓天; 张善文; 糜小涛; 于宏柱
刊名	光学精密工程
	2019
卷号	27 期号:03 页码:542-551
关键词	光栅拼接误差检测误差分离相位校正拼接装置
英文摘要	大尺寸反射式光栅是提高天文光谱仪分辨率和啁啾脉冲放大系统输出能量的核心元件。随着天文和激光核聚变技术的发展,大尺寸反射式光栅的研制已成为国内外学者研究的热点。相较于单块大尺寸反射式光栅的研制,拼接法以其难度系数低、制作成本低和待拼接的小光栅易制作、质量高等优点成为了制作大尺寸反射式光栅的主要方法。本文介绍了大尺寸反射式光栅拼接技术的基本原理,详细综述了光栅拼接技术的研究进展,包括光栅拼接误差检测理论、光栅拼接误差分离、拼接光栅波前相位校正、光栅拼接误差维数的削减和光栅拼接装置,最后总结了光栅拼接技术的优缺点并指出了其未来的发展方向。
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/63727]
专题	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
推荐引用方式 GB/T 7714	杨国军,齐向东,于海利,等. 大尺寸反射式光栅拼接技术的研究进展[J]. 光学精密工程,2019,27(03):542-551.
APA	杨国军.,齐向东.,于海利.,李晓天.,张善文.,...&于宏柱.(2019).大尺寸反射式光栅拼接技术的研究进展.光学精密工程,27(03),542-551.
MLA	杨国军,et al."大尺寸反射式光栅拼接技术的研究进展".光学精密工程 27.03(2019):542-551.