O2 /Ar 流量比及退火对氧化锆薄膜结构及摩擦学 性能的影响

	O2 /Ar 流量比及退火对氧化锆薄膜结构及摩擦学性能的影响
	许文举; 鞠鹏飞; 李红轩; 吉利; 刘晓红; 陈建敏
刊名	中国表面工程
	2020-06
卷号	33 期号:5 页码:65-74
语种	中文
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.licp.cn/handle/362003/28151]
专题	兰州化学物理研究所_先进润滑与防护材料研究发展中心
推荐引用方式 GB/T 7714	许文举,鞠鹏飞,李红轩,等. O2 /Ar 流量比及退火对氧化锆薄膜结构及摩擦学性能的影响[J]. 中国表面工程,2020,33(5):65-74.
APA	许文举,鞠鹏飞,李红轩,吉利,刘晓红,&陈建敏.(2020).O2 /Ar 流量比及退火对氧化锆薄膜结构及摩擦学性能的影响.中国表面工程,33(5),65-74.
MLA	许文举,et al."O2 /Ar 流量比及退火对氧化锆薄膜结构及摩擦学性能的影响".中国表面工程 33.5(2020):65-74.