| 题名 | 博士学位论文—TiZrV吸气剂薄膜性能及成膜工艺参数研究 |
| 作者 | 孙晓阳 |
| 答辩日期 | 2021-05-14 |
| 文献子类 | 工学博士 |
| 授予单位 | 中国科学院大学 |
| 授予地点 | 北京 |
| 导师 | 董海义 |
| 其他题名 | Study on Performance and Process Parameters of TiZrV Getter Film |
| 学位专业 | 核技术及应用 |
| 语种 | 中文 |
| 页码 | 112 |
| 内容类型 | 学位论文 |
| 源URL | [http://ir.ihep.ac.cn/handle/311005/289913]  |
| 专题 | 高能物理研究所_东莞分部 |
| 作者单位 | 中国科学院高能物理研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 孙晓阳. 博士学位论文—TiZrV吸气剂薄膜性能及成膜工艺参数研究[D]. 北京. 中国科学院大学. 2021. |
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