同步辐射用36单元压电变形镜研制及其面形调控研究

doi:10.37188/CO.2021-0103

CORC > 西安光学精密机械研究所 > 中国科学院西安光学精密机械研究所 > 先进光学元件试制中心

	同步辐射用36单元压电变形镜研制及其面形调控研究
	袁德波 4; 许亮 3; 张文斌 2; 周志勇 2; 董晓浩 1; 刘正坤 4; 张国斌 4
刊名	中国光学
	2021-11-15
卷号	23 期号:12
关键词	压电变形镜面形误差同步辐射自适应光学
ISSN号	20951531
DOI	10.37188/CO.2021-0103
其他题名	Development of a 36-element piezoelectric deformable mirror for synchrotron radiation and its surface control ability
产权排序	2
英文摘要	第4代同步辐射光源及自由电子激光装置中束线光学系统对光学元件性能提出了苛刻的要求。使用压电变形镜是实现超高面形精度调控和实施波前补偿的有效途径,也是目前亟需突破的国产化技术瓶颈。针对这一问题,研制了长度为200 mm、含36个单元压电促动器的压电变形镜。通过数值模拟优化了变形镜结构参数,利用国产工艺完成了变形镜样机的制作,并对其面形调控能力进行初步探究。测试结果表明:所研制变形镜样机的平面面形误差可降低至1.38 nm （rms）,斜率误差降低至240 nrad （rms）,实现了平面面形的nm级调控。
语种	中文
CSCD记录号	CSCD:7097749
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/95558]
专题	先进光学元件试制中心
通讯作者	张国斌
作者单位	1.中国科学院上海高等研究院 2.中国科学院上海硅酸盐研究所 3.中国科学院西安光学精密机械研究所 4.中国科学技术大学国家同步辐射实验室
推荐引用方式 GB/T 7714	袁德波,许亮,张文斌,等. 同步辐射用36单元压电变形镜研制及其面形调控研究[J]. 中国光学,2021,23(12).
APA	袁德波.,许亮.,张文斌.,周志勇.,董晓浩.,...&张国斌.(2021).同步辐射用36单元压电变形镜研制及其面形调控研究.中国光学,23(12).
MLA	袁德波,et al."同步辐射用36单元压电变形镜研制及其面形调控研究".中国光学 23.12(2021).