Sagnac型干涉仪组件的膜层面形离子束抛光装置及其装调方法 | |
贾昕胤; 孙剑; 郝雄波; 张智南; 李思远; 刘学斌 | |
2020-03-31 | |
著作权人 | 中国科学院西安光学精密机械研究所 |
专利号 | CN202010240879.2 |
国家 | 中国 |
文献子类 | 发明专利 |
产权排序 | 1 |
英文摘要 | 本发明提供一种Sagnac型干涉仪组件的膜层面形离子束抛光装置及其装调方法,实现对反射膜层面型精度低的Sagnac型干涉仪进行面形修整,避免重新投产,实现加工后再次使用的目的。该抛光装置包括离子抛光机安装基板、水平安装板、垂直安装板、右侧保护板和左侧保护板;右侧保护板和左侧保护板安装在水平安装板的前侧;Sagnac型干涉仪组件安装在水平安装板的顶面,且其抛光面位于右侧保护板和左侧保护板之间;垂直安装板安装在水平安装板的后侧,且其端面上设置有沿水平和竖直方向的多个第一腰形孔;离子抛光机安装基板位于垂直安装板的后侧,且其表面设置有沿水平和竖直方向的多个T形槽;垂直安装板和离子抛光机安装基板通过连接件安装。 |
公开日期 | 2020-08-14 |
申请日期 | 2020-03-31 |
语种 | 中文 |
状态 | 申请中 |
内容类型 | 专利 |
源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/95306] |
专题 | 西安光学精密机械研究所_光学影像学习与分析中心 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 贾昕胤,孙剑,郝雄波,等. Sagnac型干涉仪组件的膜层面形离子束抛光装置及其装调方法. CN202010240879.2. 2020-03-31. |
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