基于AFM的纳米级电极加工方法

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	基于AFM的纳米级电极加工方法
	焦念东; 王志迁; 董再励
	2011-10-12
专利国别	中国
专利号	CN102211755A
专利类型	发明
产权排序	1
权利人	中国科学院沈阳自动化研究所
其他题名	Nanoscale electrode processing method based on AFM (atomic force microscopy)
中文摘要	本发明公开一种基于AFM的纳米级电极加工方法,通过控制AFM探针与样本作用力、探针运动路径及速度对微米级电极进行切割加工,实现电极前端宽度100纳米以内的纳米级电极的加工,增加其在纳流控测试中的检测精度及灵敏度。本发明的纳米级电极加工方法可应用于纳流控芯片中对纳米沟道内流体特性及生物单分子进行高灵敏度检测分析。
是否PCT专利	否
英文摘要	The invention discloses a nanoscale electrode processing method based on an AFM (atomic force microscopy). According to the method, a micrometer level electrode is cut and processed through the controlling on the action force of an AFM probe on a sample and the movement path and speed of the probe, thus the processing of the nanoscale electrode of which a front end has width within100 nanometers is realized, and the detection accuracy and flexibility in a nano fluidic test are increased. The nanoscale electrode processing method provided by the invention can be applied to high-flexibility detection and analysis of the fluid characteristics of fluid in a nano channel in the nano fluidic chip and biology monomolecules.
公开日期	2014-02-12
申请日期	2010-04-02
语种	中文
专利申请号	CN201010138122.9
专利代理	沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002
内容类型	专利
源URL	[http://ir.sia.ac.cn/handle/173321/13749]
专题	沈阳自动化研究所_机器人学研究室
推荐引用方式 GB/T 7714	焦念东,王志迁,董再励. 基于AFM的纳米级电极加工方法. CN102211755A. 2011-10-12.