一种高真空环境控制压力的进气装置 | |
王亚军; 赛建刚; 高斌; 赵燕; 高博; 韩磊; 张海民; 贾琦; 于攀龙 | |
2020-03-23 | |
著作权人 | 中国科学院西安光学精密机械研究所 |
专利号 | CN202010207151.X |
国家 | 中国 |
文献子类 | 发明专利 |
产权排序 | 1 |
英文摘要 | 本发明公开了一种高真空环境控制压力的进气装置。使得对深空探测和压力在102Pa量级以下的低气压试验可以的有效实施,该装置包括第一调节阀、一级压力调节腔、细微通道、微调阀以及二级压力调节腔;外部气体通过第一调节阀与所述一级压力调节腔连通;细微通道为N条,N≥1;细微通道的直径取值范围为0.01mm‑1mm;N条细微通道进口与所述一级压力调节腔连通,N条细微通道出口通过N个微调阀与所述二级压力调节腔连通;微调阀流量调节范围为0.5mL‑5mL;二级压力调节腔与外部待考核器件连通;所述一级压力调节腔、二级压力调节腔上均安装有真空规。 |
公开日期 | 2020-07-07 |
申请日期 | 2020-03-23 |
语种 | 中文 |
状态 | 申请中 |
内容类型 | 专利 |
源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/95170] ![]() |
专题 | 环境试验中心 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 王亚军,赛建刚,高斌,等. 一种高真空环境控制压力的进气装置. CN202010207151.X. 2020-03-23. |
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