一种实体sagnac干涉仪的胶合方法
李思远; 刘欢; 赵强; 李立波; 白清兰; 邹纯博; 武俊强
2021-05-18
著作权人中国科学院西安光学精密机械研究所
专利号CN202010106805.X
国家中国
文献子类发明专利
产权排序1
英文摘要为解决现有的实体sagnac干涉仪胶合方法,当胶合过程中较大胶合应力引起干涉仪反射面变形时,无法对干涉仪组件进行二次修复,造成干涉仪调制度降低,以及胶合过程装调复杂的技术问题,本发明提出了一种实体sagnac干涉仪的胶合方法,通过调整干涉仪工作面的镀膜次序,最后冷镀内反射膜,能够去除胶合过程对内反射膜的影响;采用二次固化,一次固化后可再进行剪切量及正交性调整;二次镀膜期间保持40℃左右的温度能够对干涉仪棱镜起到退火作用,消除部分胶合应力;通过在胶合过程中严格监控反射面垂直度,减少构成干涉仪的两个半五角棱镜的旋转及倾斜,尽可能减小胶合过程带来的胶合应力,实现实体sagnac干涉仪的去应力装调。
公开日期2021-05-18
申请日期2020-02-20
语种中文
状态授权
内容类型专利
源URL[http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/95155]  
专题西安光学精密机械研究所_光学影像学习与分析中心
推荐引用方式
GB/T 7714
李思远,刘欢,赵强,等. 一种实体sagnac干涉仪的胶合方法. CN202010106805.X. 2021-05-18.
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