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	一种基于超短沟道石墨烯的光电探测器
	冷重钱; 申钧; 聂长斌; 张之胜; 杨俊; 汤林龙; 冯双龙; 魏兴战; 史浩飞
	2020-09-11
著作权人	中国科学院重庆绿色智能技术研究院
专利号	2020200607941
国家	中国
文献子类	实用新型
英文摘要	本实用新型属于半导体光电子器件领域，具体涉及一种基于超短沟道石墨烯的光电探测器，该光电探测器结构为：绝缘衬底、金属电极、石墨烯导电沟道和半导体吸光层。实用新型提出的基于超短沟道石墨烯的光电探测器，利用聚焦氦离子束加工亚10纳米石墨烯导电沟道，可提高石墨烯载流子迁移率，实现超短的渡越时间；同时，石墨烯/半导体复合结构有效地提升载流子分离效率，增大载流子的寿命。通过充分发挥石墨烯高迁移率和复合结构有效分离载流子的优势，实现高增益的光电探测器。本实用新型提供的光电探测器具有轻薄、增益高、响应度大、工艺重复性佳、易集成等优点，可应用于微弱光探测，是一种极具实用性的光电探测器结构。
分类号	H01l31/101(2006.01)i ; H01l31/0336(2006.01)i ;  h01l31/18(2006.01)i
申请日期	2020-01-13
语种	中文
状态	已授权
内容类型	专利
源URL	[http://119.78.100.138/handle/2HOD01W0/11675]
专题	微纳制造与系统集成研究中心
作者单位	中国科学院重庆绿色智能技术研究院
推荐引用方式 GB/T 7714	冷重钱,申钧,聂长斌,等. 一种基于超短沟道石墨烯的光电探测器. 2020200607941. 2020-09-11.

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