磁控溅射法制备FeCrAlY薄膜表征及其在高温水环境中的抗腐蚀性能研究

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	磁控溅射法制备FeCrAlY薄膜表征及其在高温水环境中的抗腐蚀性能研究
	崔勇 1; 李长记 2; 李静 2; 熊良银 2; 刘实 2
刊名	表面技术
	2020
卷号	49.0 期号:1.0 页码:72-78
关键词	磁控溅射法锆合金铁铬铝钇薄膜高温水蒸气环境氧化铝膜腐蚀性能
ISSN号	1001-3660
其他题名	Characterization of FeCrAlY Thin Film Deposited by Magnetron Sputtering and Its Corrosion Resistance under High-temperature Water Vapor Environment
英文摘要	目的在锆合金基底上沉积FeCrAlY薄膜,研究其高温水蒸气环境中的抗腐蚀性能。方法采用磁控溅射的方法在锆合金基底与玻璃基底上沉积FeCrAlY薄膜。使用XRD、SEM对沉积的FeCrAlY薄膜进行结构、形貌表征,使用XPS对FeCrAlY薄膜高温水蒸气腐蚀前后的元素价态变化进行表征和分析。结果在900℃高温水蒸气环境中测试了锆合金与锆合金沉积FeCrAlY薄膜的腐蚀性能。发现与锆合金相比,锆合金沉积FeCrAlY薄膜的样品表现出了良好的抗腐蚀性能,氧化增重少于锆合金样品的30%。结论磁控溅射法制备的FeCrAlY薄膜在高温水蒸气环境下对锆合金基底起到了很好的保护作用。高温水蒸气腐蚀过程中,由于第三元素效应的发生,即FeCrAlY薄膜中的铬元素促使铝元素析出到FeCrAlY薄膜表面,在高温水蒸气环境下氧化生成氧化铝钝化膜,氧化铝钝化膜起到了阻挡层的作用,减缓了腐蚀的进行。
语种	中文
CSCD记录号	CSCD:6731070
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.imr.ac.cn/handle/321006/146878]
专题	金属研究所_中国科学院金属研究所
作者单位	1.沈阳理工大学 2.中国科学院金属研究所
推荐引用方式 GB/T 7714	崔勇,李长记,李静,等. 磁控溅射法制备FeCrAlY薄膜表征及其在高温水环境中的抗腐蚀性能研究[J]. 表面技术,2020,49.0(1.0):72-78.
APA	崔勇,李长记,李静,熊良银,&刘实.(2020).磁控溅射法制备FeCrAlY薄膜表征及其在高温水环境中的抗腐蚀性能研究.表面技术,49.0(1.0),72-78.
MLA	崔勇,et al."磁控溅射法制备FeCrAlY薄膜表征及其在高温水环境中的抗腐蚀性能研究".表面技术 49.0.1.0(2020):72-78.