| X射线全光固体超快探测芯片调制光栅的制备方法及光栅 | |
| 闫欣; 高贵龙; 何凯; 汪韬; 田进寿; 钟梓源; 尹飞; 李少辉; 辛丽伟; 刘虎林 | |
| 2020-07-31 | |
| 著作权人 | 中国科学院西安光学精密机械研究所 |
| 专利号 | CN201910150687.X |
| 国家 | 中国 |
| 文献子类 | 发明专利 |
| 产权排序 | 1 |
| 英文摘要 | 本发明属于超快诊断领域，提供了一种X射线全光固体超快探测芯片调制光栅的制备方法及光栅，解决现有工艺制备的调制光栅，其金属层较薄，难以制备高深宽比的光栅，不能很好实现对X射线阻挡作用的问题，该方法包括以下步骤：步骤一、以全光固体超快探测芯片外延片的外延面作为光栅材料的衬底，选择合适的光栅材料，所述光栅材料为能有效吸收X射线的金属材料；步骤二、在衬底上制备导电的金属模块，形成种子层；步骤三、在种子层上制备胶膜，采用SU‑8胶进行光刻，形成胶光栅结构；步骤四、对制备有胶光栅结构的衬底进行微电镀，形成金属光栅结构；步骤五、去除SU‑8胶，获得金属光栅。 |
| 公开日期 | 2020-07-31 |
| 申请日期 | 2019-02-28 |
| 语种 | 中文 |
| 状态 | 授权 |
| 内容类型 | 专利 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/93857]  |
| 专题 | 条纹相机工程中心 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 闫欣,高贵龙,何凯,等. X射线全光固体超快探测芯片调制光栅的制备方法及光栅. CN201910150687.X. 2020-07-31. |
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