| 通过喷射工艺在光学有源器件之上形成微透镜的方法 | |
| H·于; J·阮; D·帕雷克; M·程; C-Y·郭; W·姜 | |
| 2016-06-29 | |
| 著作权人 | 安华高科技通用IP(新加坡)公司 |
| 专利号 | CN105717560A |
| 国家 | 中国 |
| 文献子类 | 发明申请 |
| 其他题名 | 通过喷射工艺在光学有源器件之上形成微透镜的方法 |
| 英文摘要 | 这里公开了一种光学装置的制造方法，例如光电二极管或者垂直腔面发射激光器(VCSEL)。该方法要求在基板内形成有源器件，在有源器件之上形成表面活性剂层；在有源器件紧上方的表面活性剂层之上喷射微透镜材料，以及固化已喷射的微透镜材料以在有源器件之上的表面活性剂层之上形成微透镜，使得有源器件能够经由该微透镜接收或者发射光信号。喷墨式印刷装置可用来在有源器件之上喷射该微透镜材料。 |
| 公开日期 | 2016-06-29 |
| 申请日期 | 2015-12-21 |
| 状态 | 失效 |
| 内容类型 | 专利 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/92762]  |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | 安华高科技通用IP(新加坡)公司 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | H·于,J·阮,D·帕雷克,等. 通过喷射工艺在光学有源器件之上形成微透镜的方法. CN105717560A. 2016-06-29. |
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