单空间模低发散角窄线宽复合光子晶体激光器 | |
郑婉华; 陈忠浩; 赵少宇; 周旭彦; 渠红伟; 齐爱谊 | |
2019-03-01 | |
著作权人 | 中国科学院半导体研究所 |
专利号 | CN109412015A |
国家 | 中国 |
文献子类 | 发明申请 |
其他题名 | 单空间模低发散角窄线宽复合光子晶体激光器 |
英文摘要 | 本发明公开了一种单空间模低发散角窄线宽复合光子晶体激光器,包括:一外延结构;一脊波导结构及侧向耦合光子晶体,制作于上述外延结构表面;一介质层,制作于上述脊波导结构及侧向耦合光子晶体表面,其中脊波导上的介质层需要去除,用于实现电流注入;一P型电极,制作于P型脊波导及介质层上;以及一N型电极,制作于外延结构下方;其中,外延结构中引入了光子晶体结构。该光子晶体结构在保证激光器在单模工作的同时降低器件的垂直发散角,进而提高光纤耦合效率并降低光纤耦合成本及其系统复杂性;此外,该光子晶体结构还能提高器件的单管出光功率,该激光器只需一次外延和普通光刻技术即可实现窄线宽输出,制备简单,工艺成本低。 |
公开日期 | 2019-03-01 |
申请日期 | 2018-11-23 |
状态 | 申请中 |
内容类型 | 专利 |
源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/92339] ![]() |
专题 | 半导体激光器专利数据库 |
作者单位 | 中国科学院半导体研究所 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 郑婉华,陈忠浩,赵少宇,等. 单空间模低发散角窄线宽复合光子晶体激光器. CN109412015A. 2019-03-01. |
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