| 激光二极管的故障检测 | |
| 乔文伟 | |
| 2017-11-28 | |
| 著作权人 | 应用材料公司 |
| 专利号 | CN107407890A |
| 国家 | 中国 |
| 文献子类 | 发明申请 |
| 其他题名 | 激光二极管的故障检测 |
| 英文摘要 | 本文中描述的实施方式一般涉及用于执行光刻工艺的设备和方法。更特定地，本文中描述的实施方式一般涉及用于在激光二极管上采用的光耦合固态继电器的数字控制的设备和方法。对光耦合固态继电器的数字控制可以允许光耦合固态继电器的打开和/或关闭，以及允许对每个激光二极管的故障检测。此外，本文中描述的实施方式允许增大提供给激光二极管的电流，使得可以维持用于优化照明的总激光二极管输出，同时也增加了使用期限并提高了工具可靠性。 |
| 公开日期 | 2017-11-28 |
| 申请日期 | 2016-03-17 |
| 状态 | 申请中 |
| 内容类型 | 专利 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/86423]  |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | 应用材料公司 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 乔文伟. 激光二极管的故障检测. CN107407890A. 2017-11-28. |
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