一种垂直腔面发射激光器VCSEL
吴波
2016-01-21
著作权人华为技术有限公司
专利号WO2016008083A1
国家世界知识产权组织
文献子类发明申请
其他题名一种垂直腔面发射激光器VCSEL
英文摘要一种垂直腔面发射激光器VCSEL,VCSEL包括自下而上的外延层结构,且自下而上的外延层结构中的一组p型掺杂的分布式布拉格反射镜形成了双氧化层谐振泄漏腔以便在VCSEL发生激射时使LP11激射模式下的光能集中在双氧化层谐振泄漏腔内且降低LP11激射模式下的增益,从而保证了LP01激射模式为VCSEL的主激射模式,且自下而上的外延层结构中的吸收层用于形成环形栅栏,环形栅栏用于吸收LP11激射模式下的光能,从而保证了LP01激射模式下的输出光功率。可见,实施例中的VCSEL制备工艺简单、可靠性高且提高了输出光功率。
公开日期2016-01-21
申请日期2014-07-15
状态未确认
内容类型专利
源URL[http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/85780]  
专题半导体激光器专利数据库
作者单位华为技术有限公司
推荐引用方式
GB/T 7714
吴波. 一种垂直腔面发射激光器VCSEL. WO2016008083A1. 2016-01-21.
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