用于X射线聚焦镜垂直装调系统的光源装置及其搭建方法
强鹏飞; 盛立志; 闫永清; 李林森; 刘哲; 周晓红; 刘永安; 赵宝升
2019-01-24
著作权人中国科学院西安光学精密机械研究所
专利号CN201910068152.8
国家中国
文献子类发明专利
产权排序1
英文摘要为了满足聚焦镜垂直装调系统中对光源的需求,保证较高的装调精度,本发明提供一种用于X射线聚焦镜垂直装调系统的光源装置及其搭建方法。装置包括激光器、激光器调节架、光学平台、转台、第一位移调节架、第二位移调节架、中心五棱镜组、装调五棱镜组和参考五棱镜组;光学平台置于激光器上方;转台位于光学平台上方;第一位移调节架、第二位移调节架均固定在转台上,中心五棱镜组包括中心五棱镜和第一五棱镜调节架,第一五棱镜调节架固定设置在转台上;装调五棱镜组包括装调五棱镜和第二五棱镜调节架,第二五棱镜调节架设置在第一位移调节架上;参考五棱镜组包括参考五棱镜和第三五棱镜调节架,第三五棱镜调节架设置在第二位移调节架上。
公开日期2019-04-26
申请日期2019-01-24
语种中文
状态申请中
内容类型专利
源URL[http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/93834]  
专题西安光学精密机械研究所_光电子学研究室
推荐引用方式
GB/T 7714
强鹏飞,盛立志,闫永清,等. 用于X射线聚焦镜垂直装调系统的光源装置及其搭建方法. CN201910068152.8. 2019-01-24.
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