超高真空系统中冷漏的判断及消除方法

	超高真空系统中冷漏的判断及消除方法
	刘俊男; 陈明; 薛松
刊名	真空
	2018-07-25
卷号	55 期号:04 页码:30-33
关键词	冷漏超高真空四极质谱氦质谱检漏
文献子类	期刊论文
英文摘要	冷漏对于超高真空系统的影响不容忽视,文中介绍了上海光源液氮冷却双晶单色器真空系统中的冷漏问题以及用四极质谱计在线判断真空泄漏的过程,并在常温下用氦质谱检漏仪对漏点进行了确定。采用负压模式(vacuum mode)未能检测出漏点,之后采用正压模式(sniffer mode)确定了泄漏的位置为液氮冷却管道的VCR接头,并对该接头的密封垫片进行了更换与紧固,使单色器真空系统恢复了正常运行状态。
语种	中文
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.sinap.ac.cn/handle/331007/31321]
专题	上海应用物理研究所_中科院上海应用物理研究所2011-2017年
作者单位	中国科学院上海应用物理研究所
推荐引用方式 GB/T 7714	刘俊男,陈明,薛松. 超高真空系统中冷漏的判断及消除方法[J]. 真空,2018,55(04):30-33.
APA	刘俊男,陈明,&薛松.(2018).超高真空系统中冷漏的判断及消除方法.真空,55(04),30-33.
MLA	刘俊男,et al."超高真空系统中冷漏的判断及消除方法".真空 55.04(2018):30-33.