一种基于同步移相干涉技术的纳米测量仪 | |
秦朝朝; 王腾远; 武佳美; 茹媛; 徐潇雅; 高怡雯 | |
2018-12-07 | |
著作权人 | 河南师范大学 |
专利号 | CN108955516A |
国家 | 中国 |
文献子类 | 发明申请 |
其他题名 | 一种基于同步移相干涉技术的纳米测量仪 |
英文摘要 | 本发明公开了一种基于同步移相干涉技术的纳米测量仪,包括相干光源及偏振延迟系统和同步移相系统,相干光源及偏振延迟系统1包括半导体激光器、1/2波片、第一1/4波片、第一全反镜、第二1/4波片、第二全反镜、偏振分光棱镜、一维导轨,同步移相系统包括反射镜、第一光阑、第一透镜、第三1/4波片、第二透镜、第二光阑、偏振片组、第三透镜、CCD、数据采集卡、计算机和二维正交全息光栅,激光器和偏振分光棱镜之间设置有1/2波片,偏振分光棱镜和第一全反镜、第二全反镜之间分别设置有第一1/4波片和第二1/4波片。本发明可有效的解决振动产生对测量结果的影响问题,具有超强的抗干扰能力,并且能够实现高精度的测量。 |
公开日期 | 2018-12-07 |
申请日期 | 2018-08-08 |
状态 | 申请中 |
内容类型 | 专利 |
源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/73654] |
专题 | 半导体激光器专利数据库 |
作者单位 | 河南师范大学 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 秦朝朝,王腾远,武佳美,等. 一种基于同步移相干涉技术的纳米测量仪. CN108955516A. 2018-12-07. |
个性服务 |
查看访问统计 |
相关权益政策 |
暂无数据 |
收藏/分享 |
除非特别说明,本系统中所有内容都受版权保护,并保留所有权利。
修改评论