一种N型GaAs基激光二极管的制造方法 | |
周明; 申云; 苏学杰; 段中明 | |
2014-04-30 | |
著作权人 | 南通明芯微电子有限公司 |
专利号 | CN103762501A |
国家 | 中国 |
文献子类 | 发明申请 |
其他题名 | 一种N型GaAs基激光二极管的制造方法 |
英文摘要 | 本发明公开了一种N型GaAs基激光二极管的制造方法,其包括形成GaAs衬底以及依次沉积n型包覆层、n型光导层、有源层、p型阻挡层、p型光导层和p型包覆层。其中形成GaAs衬底的方法包括将GaAs晶片放入高温高压装置中,对GaAs晶片加热的同时加压,加热温度为860~890℃,加压压力为5.0~5.5GPa,保持10~15分钟;停止加热加压,使GaAs晶片恢复至常温常压;在高温高压装置中退火20~30分钟后,取出GaAs晶片。该方法可以明显的减小激光二极管衬底中的晶体缺陷密度,提高激光二极管的性能和寿命。 |
公开日期 | 2014-04-30 |
申请日期 | 2014-01-26 |
状态 | 失效 |
内容类型 | 专利 |
源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/65086] |
专题 | 半导体激光器专利数据库 |
作者单位 | 南通明芯微电子有限公司 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 周明,申云,苏学杰,等. 一种N型GaAs基激光二极管的制造方法. CN103762501A. 2014-04-30. |
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