| 一种可调控组织的薄膜高通量制备的装置及其方法 | |
| 庞晓露; 杨杨; 高克玮; 杨会生; 徐秋发; 李东东; 童海生 | |
| 2018-05-15 | |
| 著作权人 | 北京科技大学 |
| 专利号 | CN108034928A |
| 国家 | 中国 |
| 文献子类 | 发明申请 |
| 其他题名 | 一种可调控组织的薄膜高通量制备的装置及其方法 |
| 英文摘要 | 本发明涉及一种可调控组织的薄膜高通量制备的装置及其方法。该装置包括半导体激光器、XRD分析仪、具有成分梯度分布的薄膜样品以及场发射扫描电子显微镜。采用双靶磁控共溅射的方法制备成分梯度分布的薄膜样品，薄膜样品要求在横向上成分梯度分布，在纵向上均匀分布。薄膜样品在真空条件下采用激光热处理加热，激光采用线扫的方式自上向下扫描，激光能量不断改变。因此薄膜样品表面纵向上成分相同，热处理工艺参数不同，横向上成分不同，热处理工艺参数相同，因此可以研究成分‑组织对性能的影响。 |
| 公开日期 | 2018-05-15 |
| 申请日期 | 2017-12-04 |
| 状态 | 申请中 |
| 内容类型 | 专利 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/56761]  |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | 北京科技大学 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 庞晓露,杨杨,高克玮,等. 一种可调控组织的薄膜高通量制备的装置及其方法. CN108034928A. 2018-05-15. |
| 个性服务 |
| 查看访问统计 |
| 相关权益政策 |
| 暂无数据 |
| 收藏/分享 |
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。
修改评论