| 基于MEMS微镜扫描的VCSEL点阵光源系统 | |
| 王俊; 刘恒; 谭少阳 | |
| 2019-06-28 | |
| 著作权人 | 苏州长光华芯半导体激光创新研究院有限公司 |
| 专利号 | CN109950793A |
| 国家 | 中国 |
| 文献子类 | 发明申请 |
| 其他题名 | 基于MEMS微镜扫描的VCSEL点阵光源系统 |
| 英文摘要 | 本发明提供一种基于MEMS微镜扫描的VCSEL点阵光源系统，其包括：VCSEL激光器以及MEMS微镜；VCSEL激光器包括：背面电极、衬底层、外延层、正面电极，正面电极、外延层、衬底层、背面电极自上而下依次层叠设置。正面电极为多个，多个正面电极以阵列形式排布于外延层上，且多个正面电极通过金属层相连接，MEMS微镜位于VCSEL激光器的出射光路上。MEMS微镜包括：反射镜以及驱动反射镜转动的驱动机构，反射镜具有第一转轴以及第二转轴，第一转轴与第二转轴相垂直。本发明通过MEMS微镜将VCSEL激光器发射的光线进行反射，快速地以点阵的方式投射到物体上，实现物体的成像，在避免了设置密集的激光器点阵的同时，提升了激光扫描的密度和成像精度。 |
| 公开日期 | 2019-06-28 |
| 申请日期 | 2019-05-10 |
| 状态 | 申请中 |
| 内容类型 | 专利 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/55346]  |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | 苏州长光华芯半导体激光创新研究院有限公司 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王俊,刘恒,谭少阳. 基于MEMS微镜扫描的VCSEL点阵光源系统. CN109950793A. 2019-06-28. |
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