| 一种基于光栅干涉原理的直线度测量系统 | |
| 叶瑞芳; 程方; 苏杭; 崔长彩; 余卿; 王寅 | |
| 2019-06-14 | |
| 著作权人 | 华侨大学 |
| 专利号 | CN109883362A |
| 国家 | 中国 |
| 文献子类 | 发明申请 |
| 其他题名 | 一种基于光栅干涉原理的直线度测量系统 |
| 英文摘要 | 一种基于光栅干涉原理的直线度测量系统，包括半导体激光器、第一偏振分光棱镜、激光多普勒干涉单元和激光迈克尔逊干涉单元；该第一偏振分光棱镜位于半导体激光器的发射端以将光束分成S偏振分量和P偏振分量；该激光多普勒干涉单元接收P偏振分量，用于采集四路相位差为90°的干涉信号以供测量线性直线度误差；该激光迈克尔逊干涉单元接收S偏振分量，用于采集四路相位差为90°的干涉信号以供测量角度直线度误差。本发明系统不仅拥有较高的精度，还简化了系统结构与检测过程，能够提供完备的直线度信息。 |
| 公开日期 | 2019-06-14 |
| 申请日期 | 2019-03-11 |
| 状态 | 申请中 |
| 内容类型 | 专利 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/55311]  |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | 华侨大学 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 叶瑞芳,程方,苏杭,等. 一种基于光栅干涉原理的直线度测量系统. CN109883362A. 2019-06-14. |
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