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	一种基于聚合物薄膜微腔的光声光谱气体传感装置及方法
	马欲飞; 何应; 于欣; 彭江波
	2019-03-22
著作权人	哈尔滨工业大学
专利号	CN109507116A
国家	中国
文献子类	发明申请
其他题名	一种基于聚合物薄膜微腔的光声光谱气体传感装置及方法
英文摘要	本发明实施例涉及一种基于聚合物薄膜微腔的光声光谱气体传感装置，所述装置包括：沿光束传播方向依次设置的第一半导体激光器(1)、准直聚焦透镜组(2)、玻璃基片(3)、聚合物薄膜微腔(4)、光电探测器(5)、锁相放大器(6)、第二半导体激光器(7)、准直聚焦透镜组(8)、微型共振腔(9)、数据采集与控制模块(10)、计算机(11)。根据锁相放大器解调的二次谐波信号幅值作为系统探测的信号值，便可实现水汽浓度的反演。经系统各参数优化调节，根据探测信号强度与探测噪声综合评价此种光声光谱气体传感器的性能，技术效果优异。
公开日期	2019-03-22
申请日期	2018-10-15
状态	申请中
内容类型	专利
源URL	[http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/55086]
专题	半导体激光器专利数据库
作者单位	哈尔滨工业大学
推荐引用方式 GB/T 7714	马欲飞,何应,于欣,等. 一种基于聚合物薄膜微腔的光声光谱气体传感装置及方法. CN109507116A. 2019-03-22.

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