硅光子学中的III-V芯片制备和集成
达米安·兰贝特
2019-03-01
著作权人斯考皮欧技术有限公司
专利号CN109417266A
国家中国
文献子类发明申请
其他题名硅光子学中的III-V芯片制备和集成
英文摘要通过将III‑V晶片固定到转移晶片来制造复合半导体激光器。去除III‑V晶片的衬底,并且将该III‑V晶片刻蚀成多个芯片,同时将该III‑V晶片固定到转移晶片。将该转移晶片单片化。该转移晶片的一部分用作手柄,用于将芯片键合在硅器件的凹槽中。该芯片用作半导体激光器的增益介质。
公开日期2019-03-01
申请日期2017-05-11
状态申请中
内容类型专利
源URL[http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/55032]  
专题半导体激光器专利数据库
作者单位斯考皮欧技术有限公司
推荐引用方式
GB/T 7714
达米安·兰贝特. 硅光子学中的III-V芯片制备和集成. CN109417266A. 2019-03-01.
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