CrN和CrAlN薄膜的微观结构及在不同介质中的摩擦学性能

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	CrN和CrAlN薄膜的微观结构及在不同介质中的摩擦学性能
	吉利; 付英英; 陈建敏; 周惠娣; 刘晓红; 李红轩
刊名	中国表面工程
	2012
卷号	25 期号:6 页码:34-41
关键词	磁控溅射 CrN薄膜 CrAlN薄膜摩擦磨损 magnetron sputtering CrN film CrAlN film friction and wear
ISSN号	1007-9289
中文摘要	采用中频非平衡反应磁控溅射技术在单晶硅P(111)和不锈钢(1Cr18Mn8Ni5N)基材上制备了CrN和CrAlN薄膜。利用X射线衍射仪(XRD)、X射线光电子能谱仪(XPS)、原子力显微镜(AFM)、场发射扫描电子显微镜(FESEM)和纳米压痕仪对薄膜的相结构、化学组成、表面形貌、断面结构和力学性能进行了测试分析。利用球-盘式摩擦磨损试验机(CSM)考察了两种薄膜在不同介质(空气、自来水、oil-1(TAO-40)及oil-2(150BS)中和Al2O3球对磨的摩擦学性能。结果表明：CrN薄膜中Al元素的掺杂并未改变薄膜晶体结构，但却降低了薄膜的表面粗糙度、增强了薄膜的致密性、提高了薄膜的力学性能、改善了水润滑和油润滑条件下薄膜的摩擦学性能。由于CrN和CrAlN薄膜的摩擦磨损性能显著依赖于测试介质，因此重点讨论了它们在不同介质中的摩擦磨损机理。
学科主题	材料科学与物理化学
收录类别	CSCD
资助信息	国家自然科学基金(51175491);中国科学院创新群体基金(50421502)
语种	中文
公开日期	2013-07-12
内容类型	期刊论文
源URL	[http://210.77.64.217/handle/362003/3550]
专题	兰州化学物理研究所_固体润滑国家重点实验室兰州化学物理研究所_先进润滑与防护材料研究发展中心
推荐引用方式 GB/T 7714	吉利,付英英,陈建敏,等. CrN和CrAlN薄膜的微观结构及在不同介质中的摩擦学性能[J]. 中国表面工程,2012,25(6):34-41.
APA	吉利,付英英,陈建敏,周惠娣,刘晓红,&李红轩.(2012).CrN和CrAlN薄膜的微观结构及在不同介质中的摩擦学性能.中国表面工程,25(6),34-41.
MLA	吉利,et al."CrN和CrAlN薄膜的微观结构及在不同介质中的摩擦学性能".中国表面工程 25.6(2012):34-41.