| 一种以金属玻璃为光刻胶的光刻方法及系统 | |
| 缪向水; 曾笔鉴; 李震; 黄君竹 | |
| 2015-01-28 | |
| 著作权人 | 华中科技大学 |
| 专利号 | CN103048888B |
| 国家 | 中国 |
| 文献子类 | 授权发明 |
| 其他题名 | 一种以金属玻璃为光刻胶的光刻方法及系统 |
| 英文摘要 | 本发明公开了一种以金属玻璃为光刻胶的光刻方法，具体为：在衬底表面沉积金属玻璃材料光刻胶层，按照目标纳米图案对沉积得到的样品进行曝光，曝光部分达到晶化温度发生相变，产生纳米晶化图形；对曝光后带有纳米晶化图形的样品进行刻蚀形成所需的纳米图案。本发明利用金属玻璃材料替代有机光刻胶，能够得到的样品光刻线宽远小于激光聚焦光斑衍射极限，并且成本低，刻蚀选择比大。本发明还公开了实现上述方法的系统，主要包括计算机、任意波形发生器、半导体激光器、准直扩束镜、光束隔离器、分光镜、聚焦伺服机构、聚焦镜头、X-Y-θ三维位移台和聚焦伺服控制箱。该系统构成简单、性价比高、操作简单、对操作环境要求相对宽松，产出率高。 |
| 公开日期 | 2015-01-28 |
| 申请日期 | 2012-12-14 |
| 状态 | 授权 |
| 内容类型 | 专利 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/48601]  |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | 华中科技大学 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 缪向水,曾笔鉴,李震,等. 一种以金属玻璃为光刻胶的光刻方法及系统. CN103048888B. 2015-01-28. |
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