具有氮化物系异质结构的器件及其制造方法
吉川明彦; 徐科
2006-10-25
著作权人千叶大学
专利号CN1282257C
国家中国
文献子类授权发明
其他题名具有氮化物系异质结构的器件及其制造方法
英文摘要本发明提供了一种容易实现具有在一个分子层水平上的平坦性的外延的氮化物系异质结构的器件及其制造方法。本发明的器件具有:表面氮化的c面蓝宝石基片1,GaN缓冲层2,N极性GaN层3,N极性AlN层4,N极性InN/InGaN多重层器件结构5,Al极性AlN6和GaN盖层7。
公开日期2006-10-25
申请日期2003-09-22
状态失效
内容类型专利
源URL[http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/48281]  
专题半导体激光器专利数据库
作者单位千叶大学
推荐引用方式
GB/T 7714
吉川明彦,徐科. 具有氮化物系异质结构的器件及其制造方法. CN1282257C. 2006-10-25.
个性服务
查看访问统计
相关权益政策
暂无数据
收藏/分享
所有评论 (0)
暂无评论
 

除非特别说明,本系统中所有内容都受版权保护,并保留所有权利。


©版权所有 ©2017 CSpace - Powered by CSpace