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	Influence of annular magnet on discharge characteristics in enhanced glow discharge plasma immersion ion implantation
	Li, Liu He; Wang, Zhuo; Lu, Qiu Yuan; Pang, En Jing; Dun, Dan Dan; He, Fu Shun; Li, Fen; Fu, Ricky K. Y.; Chu, Paul K.
刊名	APPLIED PHYSICS LETTERS
	2011
卷号	98
ISSN号	0003-6951
DOI	10.1063/1.3537962
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收录类别	SCIE ; EI
WOS记录号	WOS:000286470800018
内容类型	期刊论文
URI标识	http://www.corc.org.cn/handle/1471x/6588090
专题	北京航空航天大学
推荐引用方式 GB/T 7714	Li, Liu He,Wang, Zhuo,Lu, Qiu Yuan,et al. Influence of annular magnet on discharge characteristics in enhanced glow discharge plasma immersion ion implantation[J]. APPLIED PHYSICS LETTERS,2011,98.
APA	Li, Liu He.,Wang, Zhuo.,Lu, Qiu Yuan.,Pang, En Jing.,Dun, Dan Dan.,...&Chu, Paul K..(2011).Influence of annular magnet on discharge characteristics in enhanced glow discharge plasma immersion ion implantation.APPLIED PHYSICS LETTERS,98.
MLA	Li, Liu He,et al."Influence of annular magnet on discharge characteristics in enhanced glow discharge plasma immersion ion implantation".APPLIED PHYSICS LETTERS 98(2011).

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