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	金属有机源MOMBE分子束外延设备和MBE－IV型分子束外延设备
	孔梅影 ; 孙殿照 ; 梁基本
	1993
获奖类别	国家科技进步奖
获奖等级	二等奖
关键词	MOMBE分子束外延
学科主题	半导体材料
英文摘要	于G批量导入至Hzhangdi; Made available in DSpace on 2010-04-13T00:43:38Z (GMT). No. of bitstreams: 0 Previous issue date: 1993
语种	中文
内容类型	成果
源URL	[http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/11042]
专题	半导体研究所_中国科学院半导体研究所（2009年前）
推荐引用方式 GB/T 7714	孔梅影,孙殿照,梁基本. 金属有机源MOMBE分子束外延设备和MBE－IV型分子束外延设备. 国家科技进步奖:二等奖. 1993.

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