| 一种惯性驱动式扫描隧道显微镜 | |
| 要小未 ; 李民乾 | |
| 专利国别 | 中国 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 关键词 | G02B21/32 |
| 中文摘要 | 本实用新型涉及一种扫描显微技术领域。包括 微机、控制装置，以及一个头部，头部有扫描装置和样 品台，样品台后侧有套钩，与驱动装置的滑块上的推 杆的弯钩相对应，滑块置放在和压电陶瓷管相粘接的 底板上，通过电压陶瓷管的变形带动滑块作惯性移 动，从而再推动样品台进、退，通过驱动装置的独立来 达到提高扫描稳定性和重复性的目的。这种设计结 构简单，稳定性和重复性好，不需作精密加工，有良 好的实用价值和经济效益，并适合于纳米科学技术的 研究和高精密度产品的加工。 |
| 公开日期 | 2013-01-23 |
| 语种 | 中文 |
| 专利申请号 | CN92215769 |
| 专利代理 | 刘珍 ; 沈能一 |
| 内容类型 | 专利 |
| 源URL | [http://ir.sinap.ac.cn/handle/331007/10441]  |
| 专题 | 上海应用物理研究所_中科院上海原子核所2003年前 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 要小未,李民乾. 一种惯性驱动式扫描隧道显微镜. |
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