Al2O3/NbAlO/Al2O3 sandwich gate dielectric film on InP

	Al2O3/NbAlO/Al2O3 sandwich gate dielectric film on InP
	Cheng, XH（重点实验室） ; Xu, DP ; Sun, QQ ; He, DW ; Wang, ZJ ; Yu, YH（重点实验室） ; Zhang, DW ; Zhao, QT
刊名	APPLIED PHYSICS LETTERS
	2010
卷号	96 期号:2 页码:22904
关键词	Physics Applied
ISSN号	0003-6951
学科主题	Physics
收录类别	SCI
原文出处	10.1063/1.3292217
语种	英语
公开日期	2013-05-10
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/115111]
专题	上海微系统与信息技术研究所_信息功能材料国家重点实验室2008-2012_期刊论文
推荐引用方式 GB/T 7714	Cheng, XH,Xu, DP,Sun, QQ,et al. Al2O3/NbAlO/Al2O3 sandwich gate dielectric film on InP[J]. APPLIED PHYSICS LETTERS,2010,96(2):22904.
APA	Cheng, XH.,Xu, DP.,Sun, QQ.,He, DW.,Wang, ZJ.,...&Zhao, QT.(2010).Al2O3/NbAlO/Al2O3 sandwich gate dielectric film on InP.APPLIED PHYSICS LETTERS,96(2),22904.
MLA	Cheng, XH,et al."Al2O3/NbAlO/Al2O3 sandwich gate dielectric film on InP".APPLIED PHYSICS LETTERS 96.2(2010):22904.