溅射角分布形状与Spike效应的相关性

	溅射角分布形状与Spike效应的相关性
	郑里平 ; 崔福斋 ; 王震遐 ; 陶振兰 ; 陶良 ; 钟毅
刊名	原子与分子物理学报
	1987-12-31
期号	04
中文摘要	<正>Sigmund 69年提出的线性碰撞级联理论;成功地解决了多晶体与无定形的单元素靶的溅射产额问题。根据反冲原子速度分布是各向同性的假定;他又推导出单元素靶溅射角分布是cosine形状;即溅射角分布可用A(cosβ)”函数描述;其中形状指数n=1。但是不少实验事实表明;对于中等以上质量的离子和靶原子来说;当离子能≥10~1Kev数量级级时;单元素靶溅射角分布是 over——cosine形状;即形状指数n>1。产生这种现象的机制至今仍不清楚。本文认为:在整个碰撞级联中;不全是线性碰撞;
收录类别	CNKI
语种	中文
公开日期	2013-01-23
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.sinap.ac.cn/handle/331007/11646]
专题	上海应用物理研究所_中科院上海原子核所2003年前
推荐引用方式 GB/T 7714	郑里平,崔福斋,王震遐,等. 溅射角分布形状与Spike效应的相关性[J]. 原子与分子物理学报,1987(04).
APA	郑里平,崔福斋,王震遐,陶振兰,陶良,&钟毅.(1987).溅射角分布形状与Spike效应的相关性.原子与分子物理学报(04).
MLA	郑里平,et al."溅射角分布形状与Spike效应的相关性".原子与分子物理学报 .04(1987).