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	6H-SiC衬底片的表面处理
	CHEN,Xiufang; XU,Xiangang; HU,Xiaobo; YANG,Guang; NING,Lina; WANG,Yingmin; LI,Juan; JIANG,Shouzhen; JIANG,Minhua
刊名	人工晶体学报
	2007
卷号	36期号:5页码:962-966
关键词	衬底 表面处理 研磨 化学机械抛光
URL标识	查看原文
内容类型	期刊论文
URI标识	http://www.corc.org.cn/handle/1471x/6260070
专题	山东大学
作者单位	1.山东大学, 晶体材料国家重点实验室, 济南, 山东 250100, 中国. 2.山东大学, 晶体材料国家重点实验室, 济南, 山东 250100, 中国. 3.山东大
推荐引用方式 GB/T 7714	CHEN,Xiufang,XU,Xiangang,HU,Xiaobo,等. 6H-SiC衬底片的表面处理[J]. 人工晶体学报,2007,36(5):962-966.
APA	CHEN,Xiufang.,XU,Xiangang.,HU,Xiaobo.,YANG,Guang.,NING,Lina.,...&JIANG,Minhua.(2007).6H-SiC衬底片的表面处理.人工晶体学报,36(5),962-966.
MLA	CHEN,Xiufang,et al."6H-SiC衬底片的表面处理".人工晶体学报 36.5(2007):962-966.

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