| 题名 | 基于MEMS技术的可调谐光滤波器及相位调制器研究 |
| 作者 | 翟雷应 |
| 学位类别 | 博士 |
| 答辩日期 | 2012-05-30 |
| 授予单位 | 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） |
| 导师 | 吴亚明 |
| 关键词 | MEMS Fabry-Perot腔可调滤波器 光纤相位调制器 无交叠垂直梳齿驱动器 |
| 其他题名 | Study on Tunable Optical Filter and Phase Modulator |
| 学位专业 | 微电子学与固体电子学 |
| 中文摘要 | 可调光学滤波器是全光通信中不可缺少的器件，是全光通信网络中光分/ 插复用器（OADM, Optical Add-Drop Multiplexer）、 光交叉互联器（OXC，Optical Cross-Connect ）及光性能检测器（OPM, Optical Performance Monitor）中用于检波、分光的核心元件。MEMS Fabry-Perot腔可调滤波器具有调谐范围宽、带宽窄、调谐速度快、插入损耗低、驱动电压低、尺寸小及批量制造等优点，是可调滤波器研究的热点。相位解调器是实现光纤干涉传感器 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2013-04-24 |
| 内容类型 | 学位论文 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/114999]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_微系统、冶金所学位论文_学位论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 翟雷应. 基于MEMS技术的可调谐光滤波器及相位调制器研究[D]. 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） . 2012. |
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