| 一种用于半导体材料特性表征的方法及其系统 | |
| 张永刚 ; 李爱珍 ; 齐鸣 | |
| 2006 | |
| 获奖类别 | 鉴定 |
| 获奖等级 | 无 |
| 中文摘要 | 本专利开发了一种方便的半导体材料特性表征普适方法及其相关测试系统,利用半导体材料在不同波长激光照射下的表现特征对其内在特性进行表征并提取关键参数。 |
| 语种 | 中文 |
| 内容类型 | 成果 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/113756]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_成果 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 张永刚,李爱珍,齐鸣. 一种用于半导体材料特性表征的方法及其系统. 鉴定:无. 2006. |
| 个性服务 |
| 查看访问统计 |
| 相关权益政策 |
| 暂无数据 |
| 收藏/分享 |
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。
修改评论