| 用于中红外分布反馈量子级联激光器的全息光栅 | |
| 徐刚毅 ; 李爱珍 | |
| 2005 | |
| 获奖类别 | 鉴定 |
| 获奖等级 | 无 |
| 中文摘要 | 光栅的制备是研制分布反馈激光器的重要关鍵。对同一周期的光栅,不同的形貌,即不同的深度、占空比以及光栅轮廓都会影响光栅的耦合效率和波导损耗,从而改变激光器的边模抑制比和输出功率。因此,发展一种制备中红外波段半导体单模分布反馈量子级联激光器光栅的技术成为当务之急,为此我们选用全息技术制备光栅,通过精确控制两束相干光束的夹角得到高精度的光栅周期,发明了相关的光栅制备工艺和在线监控技术。而且与传统的制备光栅的光掩膜技术和电子束曝光技术相比,本发明具有操作方便、精度高、价格低,可方便地制备对光栅宽度和精度要求苛刻的 |
| 语种 | 中文 |
| 内容类型 | 成果 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/113709]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_成果 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 徐刚毅,李爱珍. 用于中红外分布反馈量子级联激光器的全息光栅. 鉴定:无. 2005. |
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