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	结构自对准制作微机械热堆红外探测器的红外吸收层方法
	熊斌 ; 王翊 ; 王跃林
	2007
获奖类别	鉴定
获奖等级	无
中文摘要	一种结构自对准制作微机械热堆红外探测器的红外吸收层方法,属于微机械领域,其特点是从单晶硅片的正面和反面同时进行腐蚀,在热堆背面得到一个与红外吸收区大小相仿的窗口,通过此窗口的对准作用,在氮气氛下蒸发黑体,使黑体沉积在热堆的背后。所以该发明的最为关键的工艺是利用硅各向异性腐蚀生成的结构,自对准沉积黑体制作红外吸收层。这样既可一次成型,省去了光刻等相关工艺,降低了生产成本;又可精确定位生成红外吸收层,提高器件的成品率。
语种	中文
内容类型	成果
源URL	[http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/113702]
专题	上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_成果
推荐引用方式 GB/T 7714	熊斌,王翊,王跃林. 结构自对准制作微机械热堆红外探测器的红外吸收层方法. 鉴定:无. 2007.

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