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	光盘用集成型光学头
	沈德芳 ; 陈国明 ; 陈学良
	2002
获奖类别	鉴定
获奖等级	无
中文摘要	该成果在国内首先对光盘用光学头的集成化技术进行了研究。对于波导型集成光学头,确定了在硅衬底上制备由二氧化硅层、玻璃波导层和氮化硅覆盖层构成的光波导的工艺,制备出了符合折射率要求的光波导。采用全息干涉光刻法和离子束刻蚀技术在光波导上制作了等周期直线光栅,光栅周期约1微米,一级衍射效率达120%,可用作光栅输入输出耦合器。对于混合型集成光学头,在硅衬底上集成了两个三分割光电探测器和探测器放大电路,并粘接上微小棱镜。采用几何光学近似原理,计算了光盘反射光线在棱镜中的轨迹,确定了微棱镜的尺寸、光电探测器的大小和形
语种	中文
内容类型	成果
源URL	[http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/113620]
专题	上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_成果
推荐引用方式 GB/T 7714	沈德芳,陈国明,陈学良. 光盘用集成型光学头. 鉴定:无. 2002.

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