| 微型压阻式加速度传感器 | |
| 未知 | |
| 2004 | |
| 获奖类别 | 鉴定 |
| 获奖等级 | 无 |
| 中文摘要 | 该成果是“九五”国家攻关课题。该传感器采用微机械技术制造的硅质梁岛结构。它与被测物加速时,硅岛的惯性欲使它保持原状,梁就变形,梁上的扩散电阻电桥有输出,表征相应的加速度。应用范围：该成果填补了国内空白,广泛应用于平台、制导、弱振动等。 |
| 语种 | 中文 |
| 内容类型 | 成果 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/113413]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_成果 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 未知. 微型压阻式加速度传感器. 鉴定:无. 2004. |
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