Influence of spacial temperature distribution on high accuracy interferometric metrology

	Influence of spacial temperature distribution on high accuracy interferometric metrology
	Gu Y. Q. ; Miao E. L. ; Yan F. ; Zhang J. A. ; Yang H. J.
	2010
会议日期	2010
会议录	Proceedings of SPIE-The International Society for Optical Engineering
会议录出版者	Spie-Int Soc Optical Engineering
会议录出版地	Bellingham
语种	英语
ISBN号	0277-786X 978-0-8194-8086-6
内容类型	会议论文
源URL	[http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/34816]
专题	长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出_会议论文
推荐引用方式 GB/T 7714	Gu Y. Q.,Miao E. L.,Yan F.,et al. Influence of spacial temperature distribution on high accuracy interferometric metrology[C]. 见:. 2010.