| 一种离子轰击减薄装置 | |
| 王凤莲 ; 褚一鸣 ; 陆珉华 | |
| 1988-12-28 | |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 英文摘要 | Submitted by zhangdi (zhangdi@red.semi.ac.cn) on 2009-06-04T08:36:34Z No. of bitstreams: 1 dspace.cfg: 33388 bytes, checksum: ac9630d3fdb36a155287a049e8b34eb7 (MD5); Made available in DSpace on 2009-06-04T08:36:35Z (GMT). No. of bitstreams: 1 dspace.cfg: 33388 bytes, checksum: ac9630d3fdb36a155287a049e8b34eb7 (MD5) Previous issue date: 2008-08; Made available in DSpace on 2009-06-11T08:57:44Z (GMT). No. of bitstreams: 1 full/88206944.pdf: 156272 bytes, checksum: ab6f6994860606df1844fee3c9ddf8fd (MD5) Previous issue date: |
| 公开日期 | 2009-06-04 ; 2009-06-11 ; 2010-10-15 |
| 申请日期 | 1988-06-17 |
| 语种 | 中文 |
| 专利申请号 | CN88206944 |
| 内容类型 | 专利 |
| 源URL | [http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/3225]  |
| 专题 | 半导体研究所_中国科学院半导体研究所（2009年前） |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王凤莲,褚一鸣,陆珉华. 一种离子轰击减薄装置. 1988-12-28. |
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