CORC  > 山东大学
Si(111)衬底上非晶态GaN薄膜的晶化过程
肖洪地; 马洪磊; 刘蓉; 马瑾; 林兆军
2007
会议名称第六届中国功能材料及其应用学术会议
关键词非晶 GaN 多晶 GaN 氨气 Ga
期号A0
会议录第六届中国功能材料及其应用学术会议论文集(1)
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内容类型会议论文
URI标识http://www.corc.org.cn/handle/1471x/6078104
专题山东大学
作者单位1.山东大学物理与微电子学院
2.山东大学物理与微电子学院
3.山东体育学院基础理论系
4.山东大学物理与微电子学院
5.山东大学物理与微
推荐引用方式
GB/T 7714
肖洪地,马洪磊,刘蓉,等. Si(111)衬底上非晶态GaN薄膜的晶化过程[C]. 见:第六届中国功能材料及其应用学术会议.
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