Si(111)衬底上非晶态GaN薄膜的晶化过程 | |
肖洪地; 马洪磊; 刘蓉; 马瑾; 林兆军 | |
2007 | |
会议名称 | 第六届中国功能材料及其应用学术会议 |
关键词 | 非晶 GaN 多晶 GaN 氨气 Ga |
期号 | A0 |
会议录 | 第六届中国功能材料及其应用学术会议论文集(1) |
URL标识 | 查看原文 |
内容类型 | 会议论文 |
URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/6078104 |
专题 | 山东大学 |
作者单位 | 1.山东大学物理与微电子学院 2.山东大学物理与微电子学院 3.山东体育学院基础理论系 4.山东大学物理与微电子学院 5.山东大学物理与微 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 肖洪地,马洪磊,刘蓉,等. Si(111)衬底上非晶态GaN薄膜的晶化过程[C]. 见:第六届中国功能材料及其应用学术会议. |
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