直流反应磁控溅射在氮化的蓝宝石衬底上制备AlN薄膜(英文)

	直流反应磁控溅射在氮化的蓝宝石衬底上制备AlN薄膜(英文)
	王新建 ; 宋航 ; 黎大兵 ; 蒋红 ; 李志明 ; 缪国庆 ; 孙晓娟 ; 陈一仁 ; 贾辉
刊名	发光学报
	2012-02-15
期号	02 页码:227-232
关键词	晶体结构光吸收表面形貌
公开日期	2013-03-11
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/28256]
专题	长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式 GB/T 7714	王新建,宋航,黎大兵,等. 直流反应磁控溅射在氮化的蓝宝石衬底上制备AlN薄膜(英文)[J]. 发光学报,2012(02):227-232.
APA	王新建.,宋航.,黎大兵.,蒋红.,李志明.,...&贾辉.(2012).直流反应磁控溅射在氮化的蓝宝石衬底上制备AlN薄膜(英文).发光学报(02),227-232.
MLA	王新建,et al."直流反应磁控溅射在氮化的蓝宝石衬底上制备AlN薄膜(英文)".发光学报 .02(2012):227-232.