大型衍射光栅刻划机控制系统研究

	大型衍射光栅刻划机控制系统研究
	刘栋材 ; 申远 ; 钟俊 ; 齐向东 ; 于海利 ; 竺长安
刊名	中国科学技术大学学报
	2011-06-15
期号	06 页码:560-564
关键词	高精度光栅机械结构控制系统定制负荷
公开日期	2013-03-11
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/27427]
专题	长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式 GB/T 7714	刘栋材,申远,钟俊,等. 大型衍射光栅刻划机控制系统研究[J]. 中国科学技术大学学报,2011(06):560-564.
APA	刘栋材,申远,钟俊,齐向东,于海利,&竺长安.(2011).大型衍射光栅刻划机控制系统研究.中国科学技术大学学报(06),560-564.
MLA	刘栋材,et al."大型衍射光栅刻划机控制系统研究".中国科学技术大学学报 .06(2011):560-564.